अति उच्च शुद्धता एल्यूमीनियम स्पटरिंग लक्ष्य की विशेषताएं

हाल के वर्षों में, एकीकृत सर्किट (आईसी) प्रौद्योगिकी की प्रगति के साथ, एकीकृत सर्किट के संबंधित अनुप्रयोगों का तेजी से विकास हुआ है।एकीकृत सर्किट मेटल इंटरकनेक्ट के निर्माण में सहायक सामग्री के रूप में अल्ट्रा उच्च शुद्धता एल्यूमीनियम मिश्र धातु स्पटरिंग लक्ष्य, हाल के घरेलू शोध में एक गर्म विषय बन गया है।आरएसएम के संपादक हमें उच्च शुद्धता वाले एल्यूमीनियम मिश्र धातु स्पटरिंग लक्ष्य की विशेषताएं दिखाएंगे।

मैग्नेट्रोन स्पटरिंग लक्ष्य की स्पटरिंग दक्षता को और बेहतर बनाने और जमा फिल्मों की गुणवत्ता सुनिश्चित करने के लिए, बड़ी संख्या में प्रयोगों से पता चलता है कि अल्ट्रा-हाई शुद्धता एल्यूमीनियम मिश्र धातु स्पटरिंग लक्ष्य की संरचना, सूक्ष्म संरचना और अनाज अभिविन्यास के लिए कुछ आवश्यकताएं हैं।

लक्ष्य के अनाज के आकार और अनाज के अभिविन्यास का आईसी फिल्मों की तैयारी और गुणों पर बहुत प्रभाव पड़ता है।नतीजे बताते हैं कि अनाज के आकार में वृद्धि के साथ जमाव दर कम हो जाती है;समान संरचना वाले स्पटरिंग लक्ष्य के लिए, छोटे दाने के आकार वाले लक्ष्य की स्पटरिंग दर बड़े अनाज के आकार वाले लक्ष्य की तुलना में तेज़ होती है;लक्ष्य के दाने का आकार जितना अधिक समान होगा, जमा फिल्मों की मोटाई का वितरण उतना ही अधिक समान होगा।

समान स्पटरिंग उपकरण और प्रक्रिया मापदंडों के तहत, परमाणु घनत्व में वृद्धि के साथ अल Cu मिश्र धातु लक्ष्य की स्पटरिंग दर बढ़ जाती है, लेकिन यह आम तौर पर एक सीमा में स्थिर होती है।स्पटरिंग दर पर अनाज के आकार का प्रभाव अनाज के आकार में परिवर्तन के साथ परमाणु घनत्व में परिवर्तन के कारण होता है;जमाव दर मुख्य रूप से अल Cu मिश्र धातु लक्ष्य के अनाज अभिविन्यास से प्रभावित होती है।(200) क्रिस्टल विमानों के अनुपात को सुनिश्चित करने के आधार पर, (111), (220) और (311) क्रिस्टल विमानों के अनुपात में वृद्धि से जमाव दर में वृद्धि होगी।

अति-उच्च शुद्धता एल्यूमीनियम मिश्र धातु लक्ष्य के अनाज के आकार और अनाज अभिविन्यास को मुख्य रूप से पिंड समरूपीकरण, गर्म काम और पुन: क्रिस्टलीकरण एनीलिंग द्वारा समायोजित और नियंत्रित किया जाता है।वेफर आकार के 20.32 सेमी (8 इंच) और 30.48 सेमी (12 इंच) के विकास के साथ, लक्ष्य आकार भी बढ़ रहा है, जो अल्ट्रा-उच्च शुद्धता एल्यूमीनियम मिश्र धातु स्पटरिंग लक्ष्यों के लिए उच्च आवश्यकताओं को सामने रखता है।फिल्म की गुणवत्ता और उपज सुनिश्चित करने के लिए, लक्ष्य माइक्रोस्ट्रक्चर को एक समान बनाने के लिए लक्ष्य प्रसंस्करण मापदंडों को सख्ती से नियंत्रित किया जाना चाहिए और अनाज अभिविन्यास में मजबूत (200) और (220) विमान बनावट होनी चाहिए।