लक्ष्य के कई प्रभाव हैं, और बाज़ार विकास का स्थान बड़ा है।यह कई क्षेत्रों में बहुत उपयोगी है.लगभग सभी नए स्पटरिंग उपकरण लक्ष्य के चारों ओर आर्गन के आयनीकरण को तेज करने के लिए सर्पिल इलेक्ट्रॉनों के लिए शक्तिशाली मैग्नेट का उपयोग करते हैं, जिसके परिणामस्वरूप लक्ष्य और आर्गन आयनों के बीच टकराव की संभावना बढ़ जाती है।आइए अब वैक्यूम कोटिंग में स्पटरिंग लक्ष्य की भूमिका पर एक नज़र डालें।
स्पटरिंग दर में सुधार करें.आम तौर पर, डीसी स्पटरिंग का उपयोग धातु कोटिंग के लिए किया जाता है, जबकि आरएफ एसी स्पटरिंग का उपयोग गैर-प्रवाहकीय सिरेमिक चुंबकीय सामग्री के लिए किया जाता है।मूल सिद्धांत निर्वात में लक्ष्य की सतह पर आर्गन (एआर) आयनों को हिट करने के लिए ग्लो डिस्चार्ज का उपयोग करना है, और प्लाज्मा में धनायन बिखरी हुई सामग्री के रूप में नकारात्मक इलेक्ट्रोड सतह पर पहुंचने में तेजी लाएगा।इस प्रभाव से लक्ष्य की सामग्री उड़ जाएगी और एक फिल्म बनाने के लिए सब्सट्रेट पर जमा हो जाएगी।
सामान्यतया, स्पटरिंग प्रक्रिया द्वारा फिल्म कोटिंग की कई विशेषताएं हैं: (1) धातु, मिश्र धातु या इन्सुलेटर को फिल्म डेटा में बनाया जा सकता है।
(2) उपयुक्त सेटिंग शर्तों के तहत, एक ही रचना वाली फिल्म को कई और अव्यवस्थित लक्ष्यों से बनाया जा सकता है।
(3) लक्ष्य सामग्री और गैस अणुओं का मिश्रण या यौगिक निर्वहन वातावरण में ऑक्सीजन या अन्य सक्रिय गैसों को जोड़कर उत्पादित किया जा सकता है।
(4) लक्ष्य इनपुट करंट और स्पटरिंग समय को नियंत्रित किया जा सकता है, और उच्च-सटीक फिल्म मोटाई प्राप्त करना आसान है।
(5) अन्य प्रक्रियाओं की तुलना में, यह बड़े क्षेत्र की समान फिल्मों के उत्पादन के लिए अनुकूल है।
(6) थूके हुए कण गुरुत्वाकर्षण से लगभग अप्रभावित रहते हैं, और लक्ष्य और सब्सट्रेट की स्थिति को स्वतंत्र रूप से व्यवस्थित किया जा सकता है।
पोस्ट समय: मई-17-2022