स्पटर किए गए मोलिब्डेनम लक्ष्यों का उनके अंतर्निहित लाभों के कारण इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग, सौर सेल, ग्लास कोटिंग और अन्य क्षेत्रों में व्यापक रूप से उपयोग किया गया है।लघुकरण, एकीकरण, डिजिटलीकरण और बुद्धिमत्ता में आधुनिक प्रौद्योगिकी के तेजी से विकास के साथ, मोलिब्डेनम लक्ष्यों का उपयोग बढ़ता रहेगा, और उनके लिए गुणवत्ता की आवश्यकताएं भी तेजी से ऊंची होती जाएंगी।इसलिए हमें मोलिब्डेनम लक्ष्य की उपयोग दर में सुधार के तरीके खोजने की जरूरत है।अब, आरएसएम के संपादक सभी के लिए स्पटरिंग मोलिब्डेनम लक्ष्य की उपयोग दर में सुधार करने के लिए कई तरीके पेश करेंगे।
1. रिवर्स साइड पर इलेक्ट्रोमैग्नेटिक कॉइल जोड़ें
स्पटर किए गए मोलिब्डेनम लक्ष्य की उपयोग दर में सुधार करने के लिए, प्लानर मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग मोलिब्डेनम लक्ष्य के रिवर्स साइड पर एक विद्युत चुम्बकीय कुंडल जोड़ा जा सकता है, और मोलिब्डेनम लक्ष्य की सतह पर चुंबकीय क्षेत्र को वर्तमान में बढ़ाकर बढ़ाया जा सकता है विद्युत चुम्बकीय कुंडल, ताकि मोलिब्डेनम लक्ष्य की उपयोग दर में सुधार हो सके।
2. ट्यूबलर घूर्णन लक्ष्य सामग्री का चयन करें
सपाट लक्ष्यों की तुलना में, एक ट्यूबलर घूर्णन लक्ष्य संरचना का चयन इसके महत्वपूर्ण लाभों पर प्रकाश डालता है।आम तौर पर, फ्लैट लक्ष्यों की उपयोग दर केवल 30% से 50% होती है, जबकि ट्यूबलर घूर्णन लक्ष्यों की उपयोग दर 80% से अधिक तक पहुंच सकती है।इसके अलावा, घूर्णन खोखले ट्यूब मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग लक्ष्य का उपयोग करते समय, चूंकि लक्ष्य हर समय निश्चित बार चुंबक असेंबली के चारों ओर घूम सकता है, इसकी सतह पर कोई पुनर्वितरण नहीं होगा, इसलिए घूर्णन लक्ष्य का जीवन आम तौर पर 5 गुना से अधिक लंबा होता है विमान लक्ष्य की तुलना में.
3. नए स्पटरिंग उपकरण से बदलें
लक्ष्य सामग्रियों की उपयोग दर में सुधार करने की कुंजी स्पटरिंग उपकरण के प्रतिस्थापन को पूरा करना है।मोलिब्डेनम स्पटरिंग लक्ष्य सामग्री की स्पटरिंग प्रक्रिया के दौरान, स्पटरिंग परमाणुओं का लगभग छठा हिस्सा हाइड्रोजन आयनों की चपेट में आने के बाद वैक्यूम चैम्बर की दीवार या ब्रैकेट पर जमा हो जाएगा, जिससे वैक्यूम उपकरण और डाउनटाइम की सफाई की लागत बढ़ जाएगी।इसलिए नए स्पटरिंग उपकरण को बदलने से स्पटरिंग मोलिब्डेनम लक्ष्यों की उपयोग दर में सुधार करने में भी मदद मिल सकती है।
पोस्ट समय: मई-24-2023