लक्ष्य के कई कार्य हैं और कई क्षेत्रों में व्यापक अनुप्रयोग हैं।नया स्पटरिंग उपकरण लक्ष्य के चारों ओर आर्गन के आयनीकरण में तेजी लाने के लिए इलेक्ट्रॉनों को सर्पिल करने के लिए लगभग शक्तिशाली चुंबक का उपयोग करता है, जिससे लक्ष्य और आर्गन आयनों के बीच टकराव की संभावना बढ़ जाती है,
स्पटरिंग दर बढ़ाएँ.आम तौर पर, डीसी स्पटरिंग का उपयोग धातु कोटिंग के लिए किया जाता है, जबकि आरएफ संचार स्पटरिंग का उपयोग गैर-प्रवाहकीय सिरेमिक चुंबकीय सामग्री के लिए किया जाता है।मूल सिद्धांत निर्वात में लक्ष्य की सतह पर आर्गन (एआर) आयनों को हिट करने के लिए ग्लो डिस्चार्ज का उपयोग करना है, और प्लाज्मा में धनायन छिड़के गए पदार्थ के रूप में नकारात्मक इलेक्ट्रोड सतह पर पहुंचने में तेजी लाएगा।इस प्रभाव से लक्ष्य की सामग्री उड़ जाएगी और एक फिल्म बनाने के लिए सब्सट्रेट पर जमा हो जाएगी।
सामान्य तौर पर, स्पटरिंग प्रक्रिया का उपयोग करके फिल्म कोटिंग की कई विशेषताएं हैं:
(1) धातु, मिश्र धातु या इन्सुलेटर को पतली फिल्म डेटा में बनाया जा सकता है।
(2) उपयुक्त सेटिंग शर्तों के तहत, एक ही रचना वाली फिल्म को कई और अव्यवस्थित लक्ष्यों से बनाया जा सकता है।
(3) लक्ष्य सामग्री और गैस अणुओं का मिश्रण या यौगिक निर्वहन वातावरण में ऑक्सीजन या अन्य सक्रिय गैसों को जोड़कर बनाया जा सकता है।
(4) लक्ष्य इनपुट करंट और स्पटरिंग समय को नियंत्रित किया जा सकता है, और उच्च-सटीक फिल्म मोटाई प्राप्त करना आसान है।
(5) यह अन्य फिल्मों के निर्माण के लिए फायदेमंद है।
(6) थूके हुए कण गुरुत्वाकर्षण से शायद ही प्रभावित होते हैं, और लक्ष्य और सब्सट्रेट को स्वतंत्र रूप से व्यवस्थित किया जा सकता है।
पोस्ट समय: मई-24-2022